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PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren PL112 – PL140

  • Keramische Isolation
  • Auslenkung bis 2 mm
  • Kurze Ansprechzeit (10 msec)
  • Nanometer-Auflösung
  • Geringe Betriebsspannung
  • Vakuumkompatible Versionen bis 10-9 hPa
  • Optionale integrierte Positionssensoren
  • Spezielle OEM- und Tischverstärker verfügbar

Anwendungsbeispiele

  • Wire-Bonder
  • Pneumatische Ventile
  • Faseroptische Schalter
  • (Laser)-Strahlsteuerung
  • Mikropositionierung
  • Beschleunigungssensoren
  • Nanotechnologie

PICMA® Multilayer-Biegeaktoren (Biegewandler) bieten Stellwege bis 2 mm, Kräfte bis 2 N und Ansprechzeiten im Millisekundenbereich. Die monolithischen Aktoren werden aus ca. 50 µm dicken Piezokeramikschichten mit internen Silber-Palladium-Elektroden und keramischer Isolation im „Cofiring“ Verfahren hergestellt.
Durch eine Aufteilung des Elementes in zwei gegeneinander geschaltete Segmente gleicher Kapazität wird ein Verhalten wie bei klassischen Parallelbimorph-Biegeelementen erreicht.

Vorteile

PICMA® Piezo-Biegeaktoren bieten verschiedene Vorteile gegenüber klassischen Bimorphelementen, die durch Verkleben von zwei Keramikplatten (0,1 mm bis 1 mm) hergestellt werden: schnellere Ansprechzeit und höhere Steifigkeit.
Der Hauptvorteil liegt jedoch in der drastisch reduzierten Betriebsspannung von nur +/-30 V, durch die neue Anwendungen wie z.B. in der Medizintechnik bedient werden können.

Höhere Lebensdauer durch keramische Isolation

Durch die vollkeramische Isolation sind PICMA® Aktoren deutlich besser gegen Umwelteinflüsse geschützt als konventionelle Piezoaktoren und erreichen deshalb eine weit höhere Lebensdauer in statischen und dynamischen Anwendungen.
Bei herkömmlichen Aktoren diffundieren Wassermoleküle durch die Polymerisolation und können zu elektrischen Durchschlägen führen. Dieses Risiko wird durch die keramische Isolation stark reduziert.

Optimale UHV Kompatibilität – minimales Ausgasen

Der Wegfall von Polymerisolation und die hohe Curietemperatur ermöglichen optimale Voraussetzungen für den UHVEinsatz:

  • Kein messbares Ausgasen nach Micro-VCM / ESA-PSS-01-702 / ATM595 und EC95Q-70-02A
  • 150 °C Ausheiztemperatur

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Biegeaktoren mit optionalen Anschlussdrähten (Bestellnummererweiterung .x1); Mikroprozessor zum Größenvergleich.



Empfohlene Klemmung: nichtleitendes Material mit abgerundeten Klemmflächen zum Schutz der Keramik (nicht im Lieferumfang enthalten). Anschlussbelegung:
1: -30 V [oder GND];
2: -30 V bis +30 V [oder 0 bis 60 V];
3: +30 V [oder +60 V].
Siehe Tabelle für Abmessungen.




Die Biegeaktoren sind auch mit DMS-Positionssensoren verfügbar.



Differenzielle Steuerung der PICMA® Biegeaktoren
Anschlussbelegung:
1: -30 V [oder GND];
2: -30 V bis +30 V [oder 0 bis 60 V];
3: +30 V [oder +60 V].
Abmessungen in mm.
Geregelte Versionen

Zum Positionieren im geschlossenen Regelkreis stehen die P-871 Versionen mit integrierten DMS-Sensoren zur Verfügung.

Elektronik

Die E-650.00 und E-650.OE Piezoverstärker wurden speziell für den Betrieb von PICMA® Biegeaktoren entwickelt.
Darüber hinaus entwickelt PI auch kundenspezifische Elektroniken.







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