• Ultra-kompakt: ab 2 x 2 x 2 mm
• Druckbelastbarkeit bis 1000 N
• Sub-ms Ansprechzeit
• Sub-nm Auflösung

Anwendungsbeispiele

• Statische u. dynamische
• Präzisionspositionierung
• Lasertuning
• Mikrodosierung
• Metrologie / Interferometrie
• Life-Science, Biotechnologie
• Photonik
• Nanotechnologie

Kleinste Abmessungen – hohe Leistungsfähigkeit
PICMA^®Chip Piezoaktoren sind mit einer Größe ab 2 x 2 x 2 mm die kleinsten Multilayer-Piezoaktoren auf dem Markt. Sie ermöglichen Subnanometer-Auflösungen mit Reaktionszeiten im Mikrosekundenbereich und sind deshalb ideal für hochdynamische Anwendungen geeignet.

Neuer Fertigungsprozess, optimierte Piezokeramik
PICMA^® Piezoaktoren bestehen aus einem hochzuverlässigen monolithischen Piezokeramikblock mit vollkeramischer Isolation. Sie basieren auf einer speziellen PZT-Keramik und Fertigungstechnik, die Eigenschaften wie Steifigkeit, Kapazität, Auslenkung, Temperaturstabilität und Lebensdauer ideal kombinieren.

Höhere Lebensdauer durch keramische Isolation
Durch die vollkeramische Isolation sind die Chip-Aktoren hervorragend gegen Umwelteinflüsse geschützt und erreichen eine weit höhere Lebensdauer als konventionelle Aktoren. Durch die hohe Resonanzfrequenz sind die Aktoren ideal für den hochdynamischen Betrieb mit kleinen Lasten geeignet; je nach Belastung wird eine externe Vorspannung für dynamische Anwendungen empfohlen. Die hohe Curietemperatur von 320 °C ermöglicht einen nutzbaren Temperaturbereich von bis zu 150 °C, weit jenseits der 80 °C Grenze, die für konventionelle Multilayeraktoren gilt. PICMA^® Piezoaktoren arbeiten bei reduziertem Stellweg bis in den kryogenen Temperaturbereich.

Optimale UHV Kompatibilität – minimales Ausgasen
Der Wegfall von Polymerisolation und die hohe Curie-Temperatur (Ausheizbarkeit bis 150 °C) stellen optimale Voraussetzungen für den Einsatz im Hochvakuum dar.

Verstärker und Controller
PI bietet eine große Auswahl an rauscharmen Verstärkern und Controllern für Piezoaktoren an und entwickelt auch kundenspezifische Piezoelektroniken.