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D-015 • D-050 • D-100 Kapazitive Sensoren

Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich

PI D-015
    • Für Anwendungen mit den höchsten Genaugkeitsanforderungen
    • Messbereich bis 1000 µm
    • Auflösung bis 0,01 nm
    • Linearitätsabweichung bis 0,01 % mit Digitalcontroller
    • Bandbreite bis zu 10 kHz
    • Regelelektronik E-509.CxA, kompatibel zum E-500 Piezocontrollersystem
    • Sonderausführungen

Spezifikationen

D-015.00

D-050.00

D-100.00

Einheit

Sensor

Sensortyp

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Nominaler Messbereich

15

50

100

µm

Erweiterter Messbereich

45

150

300

µm

Auflösung*

0,0005

0,0005

0,0005

% des Messbereichs

Linearitätsabweichung**

0,01

0,01

0,01

%

Aktive Sensorfläche

16,60

56,5

113,10

mm²

Thermische Drift***

50

50

50

ppm/K

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Empfohlene Auswerteelektronik

E-509.CxA

E-509.CxA

E-509.CxA

Andere Materialien auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI D-015 Drawing PI D-050 Drawing PI D-100 Drawing PI D-015 Diagramm

Bestellinformation

D-015.00Kapazitiver Zweiplatten-Positionssensor, 15 µm, Aluminium

D-050.00Kapazitiver Zweiplatten-Positionssensor, 50 µm, Aluminium

D-100.00Kapazitiver Zweiplatten-Positionssensor, 100 µm, Aluminium


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Controller / Treiber / Verstärker

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Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png User Manual PZ106E
D-015, D-050, D-100 Capacitive Sensors
PDF 228 K 2.2.0 EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt D-015 • D-050 • D-100
Kapazitive Sensoren Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich
PDF 927 K