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M-105 • M-106 Mikrostelltische

XY(Z)-Kombinationen, hohe Führungsgenauigkeit, optionaler Piezofeinantrieb

PI M-105
    • Stellweg bis 18 mm
    • Edelstahlkonstruktion
    • XY- und XYZ-Kombinationen
    • Auflösung bis 0,1 µm
    • Option: PiezoMike mit Auflösung 10 nm
    • Optionale Motorantriebe

Spezifikationen

M-105.10*

M-105.1P*

M-106.10*

Einheit

Toleranz

Stellbereich

18

18

5

mm

Piezostellweg

30

µm

Kleinste Schrittweite (Piezoantrieb)

0,01

µm

Kleinste Schrittweite (Mikrometerschraube)**

1

1

0,1

µm

Umkehrspiel

2

2

2

µm

Geradheit

2

2

2

µm

Ebenheit

2

2

2

µm

Belastbarkeit

100

100

100

N

max.

Druck- / Zugkraft

20 / 4

20 / 4

20 / 4

N

max.

Querkraft

4

4

4

N

max.

Antrieb

M-626.00

P-854.00

M-653.00

Spindelsteigung (grob / fein)

0,5 / –

0,5 / –

0,4 / 0,02

mm/U

Masse

0,32

0,38

0,33

kg

Gehäusematerial

St

St

St

Empfohlene Piezoverstärker

E-660, E-610,
E-500 System

* Die Versionen M-105.2x, M-106.2x und M-105.3x bzw. M-106.x0 sind Kombinationen aus den Versionen .1x.
** Motorisierte Ausführungen erreichen Schrittweiten bis 50 nm.

Zeichnungen / Bilder

PI M-105.10 Drawing PI M-105.1P Drawing

Bestellinformation

M-105.10Mikrostelltisch, 18 mm

M-105.11Mikrostelltisch, 18 mm, mit arretierbarer Mikrometerschraube

M-105.20XY-Mikrostelltisch, 18 mm

M-105.30XYZ-Mikrostelltisch, 18 mm, (mit M-009.10 Winkel für Seitenmontage)

M-105.1PMikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike-Antrieb

M-105.2PXY-Mikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike-Antrieb

M-105.3PXYZ-Mikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike-Antrieb (mit M-009.10 Winkel für Seitenmontage)

M-106.10Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzial-Mikrometerschraube

M-106.20XY-Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzial-Mikrometerschraube

M-106.30XYZ-Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzial-Mikrometerschraube (mit M-009.10 Winkel)

M-105.1BMikrostelltisch, ohne Antrieb

M-105.2BXY-Mikrostelltisch, ohne Antrieb

M-105.3BAXYZ-Mikrostelltisch, ohne Antrieb (mit M-105.VB1 Winkel)

M-105.3BBXYZ-Mikrostelltisch, ohne Antrieb (mit M-009.10 Winkel)

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