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M-511 • M-521 • M-531 Hochpräzisions-Linearversteller

Hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten

PI M-511
    • Stellwege 102, 204 und 306 mm (4”, 8”, 12”)
    • Höchstgeschwindigkeit bis 100 mm/s
    • Encoderauflösung 50 nm
    • Belastbarkeit bis 100 kg
    • Spielfreie Kugelumlaufspindeln
    • XY & XYZ Kombinationen
    • Kontaktlose End- und Referenzschalter
    • MTBF >20.000 h

Linearstelltisch der Referenzklasse

Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Präzisionslinearführungen mit vorgespannten Kugelumlaufschuhen. Spielfrei vorgespannte Kugelumlaufspindel mit 2 mm Steigung. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität.
XY und XYZ Kombinationen mit M-501/M-451 Präzisionshubtischen möglich. Vakuumversionen

Antriebsarten und Positionsmessung

M-5x1.DD1: Direktantrieb. DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern für hohe Geschwindigkeit kombiniert mit direktmessendem Linearencoder für hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit
M-5x1.DD2: Version mit integrierter Bremse

Direktantrieb: DC-Motor für hohe Geschwindigkeit kombiniert mit Präzisions-Rotationsencoder
M-5x1.EC: Bürstenloser DC-Motor mit integrierter Blockkommutierung
M-5x1.PD1: DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern

DC-Servomotor mit Getriebe kombiniert mit Präzisions-Rotationsencoder für hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit
M-5x1.DG1: DC-Motor mit direkter Ansteuerung (analog)
M-5x1.PG1: DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern

M-5x1.2S1: Schrittmotor

Kontaktlose Endschalter. Kontaktlose Referenzschalter in der Mitte des Stellwegs

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Vakuumumgebung bis 10-6 hPa. Inspektion, MEMS-Fertigung

Spezifikationen

M-5x1.DD1 /
M-5x1.DD2

M-5x1.EC /
M-5x1.PD1

M-5x1.DG1 /
M-5x1.PG1

M-5x1.2S1

Einheit

Toleranz

Bewegung und Positionieren

Stellweg

M-511: 102 (4‘‘) / M-521: 204 (8‘‘) / M-531: 306 (12‘‘)

mm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Rotationsencoder

Rotationsencoder

-

Sensorauflösung

0,02 µm

4096

2048

-

Impulse/U

Rechnerische
Auflösung

0,05

0,49

0,033

0,31**

µm

typ.

Kleinste Schrittweite

0,1

0,5

0,1

0,1

µm

typ.

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

0,1

0,5

0,2

0,2

µm

typ.

Umkehrspiel

±0,2*

1

1

1

µm

typ.

Neigen / Gieren

±25 / ±35 / ±35

µrad

Geradheit /
Ebenheit
pro 100 mm

1

1

1

1

µm

Geschwindigkeit

50

100

6

20

mm/s

max.

Mechanische Eigenschaften

Gewindesteigung
Kugelumlaufspindel

2

2

2

2

mm

Getriebeuntersetzung

(28/12)4 ~ 29,6:1

Belastbarkeit

1000

N

max.

Druck- / Zugkraft

80

N

max.

Zulässige Querkraft

200

N

max.

Antriebseigenschaften

 

 

 

 

 

 

Motortyp

DC-Motor mit
PWM-Ansteuerung

DC-Motor mit
PWM-Ansteuerung***

DC-Getriebemotor

2-Phasen-Schrittmotor**

 

 

Motorauflösung

6400**

Schritte/U

 

Führung

Präzisionslager, Kugelumlaufschuhe

Betriebsspannung

24 (PWM)

24 (PWM)

M-5x1.DG1:
0 bis ±12

M-5x1.PG1: 24 (PWM)

24

V

 

Motorleistung

30

60

3

5

W

nominal

Drehmoment

80

70

5

150

mNm

nominal

Referenz- und Endschalter

Hall-Effekt

Hall-Effekt

Hall-Effekt

Hall-Effekt

 

 

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

10 bis 50

-20 bis 65

-20 bis 65

-20 bis 65

° C

Material

Aluminium, schwarz eloxiert

Masse

5 (M-511) / 6,1 (M-521) / 7,2 (M-531)

kg

±5 %

Stecker

D-Sub 15-pol., 3-m-Kabel inkl.

Empfohlene Controller

C-863

C-884

C-863

C-884

C-863

C-884

C-663

Sonderausführungen auf Anfrage.
* Bidirektionale Wiederholgenauigkeit für Versionen mit Linearencoder.
** Max. 0,85 A/Phase; 400 Vollschritte/U. Motorauflösung mit Schrittmotorsteuerung C-663.
*** M-5xx.EC: Bürstenloser DC-Motor mit PWM-Ansteuerung

Zeichnungen / Bilder

PI M-5x1 Drawing

Bestellinformation

Tische mit 102 mm Stellweg:

M-511.DD1Mikrostelltisch, 102 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder

M-511.DD2Mikrostelltisch, 102 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder, Motorbremse

M-511.PD1Mikrostelltisch, 102 mm, ActiveDrive DC-Motor, Rotationsencoder

M-511.ECMikrostelltisch, 102 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder

M-511.DG1Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-511.PG1Mikrostelltisch, 102 mm, ActiveDrive DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-511.2S1Mikrostelltisch, 102 mm, Schrittmotor


Tische mit 204 mm Stellweg:

M-521.DD1Mikrostelltisch, 204 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder

M-521.DD2Mikrostelltisch, 204 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder, Motorbremse

M-521.PD1Mikrostelltisch, 204 mm, ActiveDrive DC-Motor, Rotationsencoder

M-521.ECMikrostelltisch, 204 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder

M-521.DG1Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-521.PG1Mikrostelltisch, 204 mm, ActiveDrive DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-521.2S1Mikrostelltisch, 204 mm, Schrittmotor


Tische mit 306 mm Stellweg:

M-531.DD1Mikrostelltisch, 306 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder

M-531.DD2Mikrostelltisch, 306 mm, ActiveDrive DC-Motor, Linearencoder, Motorbremse

M-531.PD1Mikrostelltisch, 306 mm, ActiveDrive DC-Motor, Rotationsencoder

M-531.ECMikrostelltisch, 306 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder

M-531.DG1Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-531.PG1Mikrostelltisch, 306 mm, ActiveDrive DC-Getriebemotor, Rotationsencoder

M-531.2S1Mikrostelltisch, 306 mm, Schrittmotor


Vakuumversionen und Sonderausführungen auf Anfrage
Adapterplatten, -winkel und Zubehör

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

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fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch MP113D
M-511, M-521, M-531 Mikrostelltische
PDF 1.5 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt M-511 • M-521 • M-531
Hochpräzisions-Linearversteller hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten
PDF 743 K
fileadmin/images/filelist/zip.png M-511 STEP
ZIP 3.8 M
fileadmin/images/filelist/zip.png M-521 STEP
ZIP 3.5 M
fileadmin/images/filelist/zip.png M-531 STEP
ZIP 3.6 M
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Montageadapter für Gewindenormraster
Übersicht über alle Kombinationsmöglichkeiten von Linear-, Dreh- und Kipptischen
PDF 763 K