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P-1x1.0xT PICA Shear Scheraktoren

Kompakte Aktoren für kryogene und UHV-Umgebung

PI P-121.03T
    • UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
    • Für kryogene Umgebung
    • Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
    • Picometer-Auflösung
    • µs-Ansprechzeit

Piezo-Scheraktoren

Betriebsspannung -250 bis 250 V. Geeignet für den Einsatz in kryogener Umgebung und UHV bis 10-9 hPa. Laterale Bewegung basiert auf dem piezoelektrischen Schereffekt. Hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimalem elektrischem Leistungsbedarf.
Varianten für mehrachsige Bewegung, auch mit Innenbohrung

Mögliche Modifikationen

  • Piezokeramikmaterial
  • Unmagnetische Ausführungen
  • Spannungsbereich, Auslenkung, Lagendicke, Querschnittsabmessung
  • Belastbarkeit, Krafterzeugung
  • Endstücke: flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.
  • Verringerte Längentoleranzen


Einsatzgebiete

Industrie und Forschung, Tieftemperatur- / Vakuumumgebung bis 10-9 hPa. Für Scanning-Anwendungen, Mikroskopie, Präzisionsmechanik, Schaltanwendungen

Spezifikationen

Aktive Achse

Stellweg

Grundfläche A × B

Länge L

Max. Scherbelastung

Axiale Steifigkeit

Elektrische Kapazität

Axiale Resonanzfrequenz

µm

mm

N

N/µm

nF

kHz

P-111.01T

X

1

3 mm × 3 mm

2,2

20

110

2 × 0,25

530

P-111.03T

X

3

3 mm × 3 mm

4,4

20

55

6 × 0,25

260

P-121.01T

X

1

5 mm × 5 mm

2,2

50

310

2 × 0,70

530

P-121.03T

X

3

5 mm × 5 mm

4,4

50

150

6 × 0,70

260

Stellweg: bei -250 bis 250 V, gemessen bei Raumtemperatur. Wert reduziert sich bei tiefen Temperaturen. Toleranz ±30 %.
Länge L: Toleranz ±0,3 mm.
Elektrische Kapazität: gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT, Toleranz ±20 %.
Axiale Resonanzfrequenz: gemessen bei 1 Vpp, unbelastet, beidseitig frei. Bei einseitiger Einspannung halbiert sich der Wert.

Piezokeramik: PIC255.
Standardanschlüsse: Ta-Kontaktierung mit leitfähigem Klebstoff oder Schweißen möglich.
Betriebsspannungsbereich: -250 bis 250 V.
Betriebstemperaturbereich: -269 bis 85 °C. Kurzzeitiges Ausheizen bis 150°C, nur im kurzgeschlossenen Zustand.
Standardendstücke: Keramik (Al2O3, 96 % rein).
Mantelfläche: Epoxidharz.

Sonderausführungen und andere Spezifikationen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI PICA Shear Displacement PI PICA Shear Axis Cabling PI P-111 Drawing PI P-1x1.0xT

Bestellinformation

P-111.01TPICA Shear X-Piezoaktor, 1 µm Stellweg, 3 mm × 3 mm Querschnitt, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa, Betriebstemperatur bis -269 °C

P-111.03TPICA Shear X-Piezoaktor, 3 µm Stellweg, 3 mm × 3 mm Querschnitt, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa, Betriebstemperatur bis -269 °C

P-121.01TPICA Shear X-Piezoaktor, 1 µm Stellweg, 5 mm × 5 mm Querschnitt, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa, Betriebstemperatur bis -269 °C

P-121.03TPICA Shear X-Piezoaktor, 3 µm Stellweg, 5 mm × 5 mm Querschnitt, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa, Betriebstemperatur bis -269 °C


Sonderausführungen und andere Spezifikationen auf Anfrage.

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