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P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

PI P-517.3CL
    • 2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθZ)
    • Stellwege bis 200 µm
    • Sub-nm-Auflösung

Spezifikationen

P-517.2CL
P-517.2CD

P-527.2CL
P-527.2CD

P-517.3CL
P-517.3CD

P-527.3CL
P-527.3CD

P-517.RCD

P-527.RCD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Y, Z

X, Y, Z

X, Y, θZ

X, Y, θZ

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20
bis 120 V,
ungeregelt

130 µm

250 µm

X, Y: 130 µm
Z: 25 µm

X, Y: 250 µm
Z: 25 µm

X, Y: 130 µm
θZ: ±1,3 mrad

X, Y: 250 µm
θZ: ±2,5 mrad

min. (+20 % /
-0 %)

Stellweg, geregelt

100 µm

200 µm

X, Y: 100 µm
Z: 20

X, Y: 200 µm
Z: 20

X, Y: 100 µm
θZ: ±1 mrad

X, Y: 200 µm
θZ: ±2 mrad

Auflösung,
ungeregelt

0,3 nm

0,5 nm

X, Y: 0,3 nm
Z: 0,1 nm

X, Y: 0,5 nm
Z: 0,1 nm

X, Y: 0,3 nm
θZ: 0,1 µrad

X, Y: 0,5 nm
θZ: 0,1 µrad

typ.

Auflösung, geregelt

1 nm

2 nm

X, Y: 1 nm
Z: 0,1 nm

X, Y: 2 nm
Z: 0,1 nm

X, Y: 1 nm
θZ: 0,3 µrad

X, Y: 2 nm
θZ: 0,3 µrad

typ.

Linearitäts-
abweichung

0,03

0,03

0,03

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederhol-
genauigkeit

±5 nm

±10 nm

X, Y: ±5 nm
Z: ±1 nm

X, Y: ±10 nm
Z: ±1 nm

X, Y: ±5 nm
θZ: ±0,5 µrad

X, Y:±10 nm
θZ: ±1 µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

2

1

X, Y: 2
Z: 15

X, Y: 1
Z: 15

2

1

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz
unbelastet

450

350

X, Y: 450
Z: 1100

X, Y: 350
Z: 1100

X, Y: 450θ
Z: 400

X, Y: 350θ
Z: 300

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz
belastet in X, Y,
500 g

250

190

250

190

250

190

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz
belastet in X, Y,
2500 g

140

110

140

110

140

110

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelast-
barkeit in Stell-
richtung

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

N

max.

Antriebs-
eigenschaften

Piezokeramik

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Elektrische
Kapazität

9,2

9,2

X, Y: 9
Z: 6

X, Y: 9
Z: 6

9

9

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient*

11,5

5,8

X, Y: 11,5
Z: 37

X, Y: 5,5
Z: 37

11,5

5,5

µA / (Hz × 
µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebs-
temperatur-
bereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

1,4

1,4

1,45

1,45

1,4

1,4

kg

±5 %

Sensor- / Spannungs-
anschluss

CL-Version: LEMO

CD-Version:
D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version:
D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version:
D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version:
D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Piezoverstärkermodul bzw. E-710 Digitaler Piezocontroller.
* Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) der Linearachsen in µA pro Hertz und µm. Elektrische Kapazität und DSK der Drehachsen basieren auf differentieller X- und Y-Bewegung, deshalb ist hierfür keine Angabe möglich. Beispiel: P-527.2xx: Sinusbetrieb mit 30 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 1,8 mA Strom.

Empfohlene Controller für CL-Versionen:

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

Empfohlene Controller für CD-Versionen:

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät
E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular
E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-571 Drawing

Bestellinformation

P-517.2CLPräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

P-517.2CDPräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-527.2CLPräzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

P-527.2CDPräzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-517.3CLPräzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

P-517.3CDPräzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-527.3CDPräzises XYZ-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-517.RCDPräzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, 2 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-527.RCDPräzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, 4 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ82D
P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
PDF 938 K 3.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-517 • P-527
Mehrachsen-Piezoscanner hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung
PDF 754 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-5x7 STEP
ZIP 221 K