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P-518 • P-528 • P-558 Piezo-Hub- und Kipptisch

Hochdynamisch, mit großer Apertur

PI P-518.ZCD
    • 1- und 3-Achsenversionen
    • Hub- / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt)
    • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
    • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Spezifikationen

P-558.ZCD
P-558.ZCL

P-558.TCD

P-518.ZCD
P-518.ZCL

P-518.TCD

P-528.ZCD
P-528.ZCL

P-528.TCD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg in Z bei -20 bis 120 V, ungeregelt

60

60

140

140

240

240

µm

min. (20 % /
-0 %)

Kippwinkel in θX, θY bei -20 bis 120 V, ungeregelt

±0,3

±0,7

±1,2

mrad

min. (20 % /
-0 %)

Stellweg in Z, geregelt

50

50

100

100

200

200

µm

Kippwinkel in θX, θY, geregelt

±0,25

±0,5

±1

mrad

Auflösung in Z, ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,4

0,6

0,6

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, ungeregelt

0,02

0,04

0,06

µrad

typ.

Auflösung in Z, geregelt

0,5

0,5

0,8

0,8

1

1

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, geregelt

0,05

0,05

0,1

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in Z

±5

±5

±5

±5

±10

±10

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX, θY

±0,03

±0,05

±0,1

µrad

typ.

Übersprechen θZ (Bewegung in Z)

<10

<10

<10

<10

<20

<20

µrad

typ.

Übersprechen θX, θY (Bewegung in Z)

<50

<50

<50

<50

<100

<100

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Z

4

4

2,7

2,7

1,5

1,5

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet in Z

570

570

500

500

350

350

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet in θX, θY

610

530

390

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in Z, 500 g

410

410

350

350

210

210

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in θX, θY, 500 g

430

370

250

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in Z, 2500 g

245

245

200

200

130

130

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in θX, θY, 2500 g

240

190

115

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

100 / 50

100 / 50

100 / 50

100 / 50

100 / 50

100 / 50

N

max.

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Elektrische Kapazität

6

6

8,4

8,4

14,8

14,8

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient*

15

15

10,5

10,5

9,2

9,2

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

150 mm × 150 mm × 30 mm

150 mm × 150 mm × 30 mm

150 mm × 150 mm × 30 mm

150 mm × 150 mm × 30 mm

150 mm × 150 mm × 30 mm

150 mm × 150 mm × 30 mm

Masse

1380

1380

1400

1400

1420

1420

g

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Piezoverstärkermodul bzw. E-710 Digitaler Piezocontroller.
* Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) der Linearachsen in µA pro Hertz und µm. Elektrische Kapazität und DSK der Drehachsen basieren auf differentieller X- und Y-Bewegung, deshalb ist hierfür keine Angabe möglich. Beispiel P-558.ZCL: Sinusbetrieb mit 10 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 1,7 mA Strom.

Empfohlene Controller für CL-Versionen:

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät
E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular
E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

 

Empfohlene Controller für CD-Versionen:

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal
E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-753 Digitaler Piezocontroller, 1 Kanal, Tischgerät

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-518 Drawing

Bestellinformation

P-558.ZCDPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-558.ZCLPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-518.ZCDPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-518.ZCLPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-528.ZCDPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-528.ZCLPräziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-558.TCDPräziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 50 µm, 0,6 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-518.TCDPräziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 100 µm, 1,4 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-528.TCDPräziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 200 µm, 2,4 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ82D
P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
PDF 938 K 3.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-518 • P-528 • P-558
Piezo-Hub- und Kipptisch hochdynamisch, mit großer Apertur
PDF 755 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-5x8 STEP
ZIP 338 K