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P-611.XZ • P-611.2 XZ- und XY-Nanopositionierer

Kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung

PI P-611.XZS
    • Kompakt: Grundfläche 44 mm × 44 mm
    • Stellweg bis 120 µm × 120 µm
    • Auflösung bis 0,2 nm
    • Besonders kostengünstige Systeme
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • Auch als Linear- und Hubtisch und als XYZ-Version erhältlich

Spezifikationen

P-611.2S

P-611.20

P-611.XZS

P-611.XZ0

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Z

X, Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

DMS

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

120

120

120

120

µm

min. (20 % /
-0 %)

Stellweg, geregelt

100

100

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

2

2

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,1

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

<10

nm

typ.

Neigen in X, Y

±5

±5

±5

±5

µrad

typ.

Verkippung θX (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.

Gieren in X

±20

±20

±20

±20

µrad

typ.

Gieren in Y

±10

±10

µrad

typ.

Verkippung θY (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,2

0,2

0,2Z: 0,35

0,2Z: 0,35

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

X: 345;
Y: 270

X: 345;
Y: 270

X: 365;
Z: 340

X: 365;
Z: 340

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 30 g

X: 270;
Y: 225

X: 270;
Y: 225

X: 280;
Z: 295

X: 280;
Z: 295

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 100 g

X: 180;
Y: 165

X: 180;
Y: 165

X: 185;
Z: 230

X: 185;
Z: 230

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

15 / 10

15 / 10

15 / 10

15 / 10

N

max.

Belastbarkeit

15

15

15

15

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

1,5

1,5

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,9

1,9

1,9

1,9

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Abmessungen

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

Masse

0,235

0,235

0,27

0,27

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

LEMO

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.
Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 50 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 0,9 mA Strom.

Empfohlene Controller / Verstärker

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

Zeichnungen / Bilder

PI P-611.XZS Drawing PI P-611.2S Drawing

Bestellinformation

P-611.2SXY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, DMS-Sensor

P-611.20XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, ohne Sensor

P-611.XZSXZ-Nanopositioniersystem, 100 × 100 µm, DMS-Sensor

P-611.XZ0XZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, ohne Sensor

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Controller / Treiber / Verstärker

Zubehör

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
PDF 1.2 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Technical Note P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Nanopositioning Systems
PDF 162 K 2014-07-29 EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-611.XZ • P-611.2
XZ- und XY-Nanopositionierer kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung
PDF 794 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-611.XZ P-611.2 STEP
ZIP 370 K