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P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

    • Stellwege 50 bis 1800 µm
    • Auflösung bis 0,1 nm
    • Positioniergenauigkeit 0,02%
    • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
    • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Linearpositionierer der Referenzklasse

Außergewöhnlich zuverlässig durch Kombination von reibungs-, wartungs- und verschleißfreien Komponenten. Vakuumversionen bis 10-9 hPa

Integriertes Hebel- / Führungsmodul für flexiblen Aufbau verschiedener Achskonfigurationen

Reibungsfreie Festkörpergelenke zur Führung kombiniert mit Hebelübersetzung für lange Stellwege. Antrieb durch vollkeramisch isolierte PICMA® Aktoren mit überragender Lebensdauer

Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren

Berührungslose Messmethode (Direktmetrologie). Reibungsfrei. Sub-Nanometer Auflösung. Hervorragende Linearität. Hohe Bandbreite bis zu 10 kHz

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Vakuumumgebung bis 10-9 hPa

Spezifikationen

P-620.1CD
P-620.1CL

P-621.1CD
P-621.1CL

P-622.1CD
P-622.1CL

P-625.1CD
P-625.1CL

P-628.1CD
P-628.1CL

P-629.1CD
P-629.1CL

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X

X

X

X

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

60

120

300

600

950

1800

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

50

100

250

500

800

1500

µm

Auflösung, geregelt / ungeregelt

0,2 / 0,1

0,4 / 0,2

0,7 / 0,4

1,4 / 0,5

1,8 / 0,5

3 / 2

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,02

0,02

0,02

0,03

0,03*

0,03**

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±1

±5

±10

±14

nm

typ.

Neigen / Gieren

±3

±3

±3

±6

±6

±30 / ±10

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

0,42

0,35

0,2

0,1

0,12

0,13

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

1100

800

400

215

125

125

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 20 g

550

520

340

180

115

120

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 120 g

260

240

185

110

90

110

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

10

10

10

10

10

10

N

max.

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

N

max.

Querbelastbarkeit

10

10

10

10

10

8

N

max.

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-883

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-887

PICMA® P-888

Elektrische Kapazität

0,35

1,5

3,1

6,2

19

52

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

0,9

1,9

1,9

1,6

3

4,3

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

30 mm × 30 mm × 12 mm

40 mm × 40 mm × 15 mm

50 mm × 50 mm × 15 mm

60 mm × 60 mm × 15 mm

80 mm × 80 mm × 17 mm

100 mm × 100 mm × 22,5 mm

Masse

0,11

0,16

0,2

0,24

0,38

0,72

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Versionen: D-Sub Spezial

CL-Versionen: LEMO

Versionen ohne Sensor sind unter den Bestellnummern P-62x.10L erhältlich; Betriebstemperaturbereich -20 bis 150 °C. Spannungsanschluss LEMO.
Vakuumversionen bis 10-9 hPa sind unter den Bestellnummern P-62x.1UD erhältlich.
Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Rauschen mit Digitalcontroller E-710.
* Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %
** Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %

Zeichnungen / Bilder

PI P-621.1CD Diagramm

Bestellinformation

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-620.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-621.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-622.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-625.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-628.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-629.1CDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

Versionen mit LEMO-Stecker 

P-620.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-621.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-622.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-625.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-628.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-629.1CLPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

PIHera Linearpositionierer ohne Positionssensor 

P-620.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 60 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-621.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 120 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-622.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 300 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-625.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 600 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-628.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 950 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-629.10LPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1800 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

PIHera Linearpositionierer vakuumkompatibel bis 10-9 hPa 

P-620.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-621.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-622.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-625.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker,vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-628.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-629.1UDPräzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

 

 

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fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ234D
P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
PDF 1 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-620.1 – P-629.1
PIHera Linearer Präzisionspositionierer variabel in Stellweg und Achskonfiguration
PDF 800 K
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