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P-620.Z – P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

PI P-62x.Z
    • Stellwege 50 µm bis 250 µm (400 µm ungeregelt)
    • Auflösung bis 0,1 nm
    • Positioniergenauigkeit 0,02 %
    • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
    • X-, XY-, Z- XYZ-Versionen

Spezifikationen

P-620.ZCD 
P-620.ZCL

P-621.ZCD
P-621.ZCL

P-622.ZCD
P-622.ZCL

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z

Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

65

140

400

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

50

100

250

µm

Auflösung, ungeregelt

0,1

0,2

0,5

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,2

0,3

1

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,02

0,02

0,02

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±1

nm

typ.

Verkippung θX, θY

<20

<20

<80

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,5

0,6

0,24

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

1000

790

360

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 30 g

690

500

270

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

10 / 5

10 / 8

10 / 8

N

max.

Belastbarkeit

10

10

10

N

max.

Querbelastbarkeit

10

10

10

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-883

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

0,7

3

6,2

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,8

3,8

3,1

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

30 mm × 30 mm × 15 mm

40 mm × 40 mm × 17,5 mm

50 mm × 50 mm × 17,5 mm

Masse

0,12

0,17

0,24

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Versionen: D-Sub Spezial

CL-Versionen: LEMO

Versionen ohne Sensor sind unter den Bestellnummern P-62x.Z0L erhältlich; Betriebstemperaturbereich -20 bis 150 °C. Spannungsanschluss LEMO.

Empfohlene Controller / Verstärker für CD-Versionen

E-610 Controller / Verstärker, E-625 Controller (Tischgerät), E-665 Leistungsstarker Controller (Tischgerät), E-753 Einkanaliger Digitalcontroller (Tischgerät)

Empfohlener Controller / Verstärker für CL-Versionen

E-500 Modulares Piezocontrollersystem mit Verstärkermodul E-505 (hohe Leistung) und Regler E-509

Empfohlener Controller / Verstärker für 0L-Versionen (ungeregelt)

E-500 Modulares Piezocontrollersystem mit Verstärkermodul E-505 (hohe Leistung)

Zeichnungen / Bilder

PI P-62x.ZCD Drawing

Bestellinformation

P-620.ZCDPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-620.ZCLPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-620.Z0LPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 65 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-620.ZUDPräziser PIHer aNanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-621.ZCDPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-621.ZCLPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-621.Z0LPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 140 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-621.ZUDPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-622.ZCDPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-622.ZCLPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-622.Z0LPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 400 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker

P-622.ZUDPräziser PIHera Nanopositionier-Hubtisch, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

 

 

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Zubehör

Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-620.Z – P-622.Z
PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer variabel in Stellweg und Achskonfiguration
PDF 897 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ234D
P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
PDF 1 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/zip.png P-62x.Z STEP
ZIP 327 K
fileadmin/images/filelist/zip.png PI Press Release P-620 PIHera
ZIP 991 K