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P-733.2 • P-733.3 XY(Z)-Piezonanopositionierer

Hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur

PI P-733.2
    • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X,Y und bis 10 µm in Z
    • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
    • Hochdynamische Versionen mit Direktantrieb
    • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
    • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
    • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

Spezifikationen

P-733.2CD
P-733.2CL

P-733.3CD
P-733.3CL

P-733.2DD

P-733.3DD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y, Z

X, Y

X, Y, Z

Bewegung und
Positionieren

Integrierter
Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei
-20 bis 120 V,
ungeregelt

115 µm × 115 µm

115 µm × 115 µm × 12 µm

33 µm × 33 µm

33 µm × 33 µm × 14 µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg,
geregelt

100 µm × 100 µm

100 µm × 100 µm × 10 µm

30 µm × 30 µm

30 µm × 30 µm × 10 µm

 

Auflösung,
ungeregelt

0,2

0,2 (0,1 in Z)

0,1

0,1

nm

typ.

Auflösung,
geregelt

0,3

0,3 (0,2 in Z)

0,1

0,1

nm

typ.

Linearitätsabweichung
(X, Y)

0,03

0,03

0,03*

0,03*

%

typ.

Linearitätsabweichung
(Z)

0,03

0,03*

%

typ.

Wiederholgenauigkeit
(X, Y)

<2

<2

<2

<2

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit
(Z)

<1

<1

nm

typ.

Neigen (X, Y)

<±3

<±3

<±5

<±5

µrad

typ.

Gieren (X, Y)

<±10

<±10

<±10

<±10

µrad

typ.

Verkippung bei
Bewegung in Z

<±5

<±5

µrad

typ.

Mechanische
Eigenschaften

Steifigkeit

1,5

1,4 (9 in Z)

20

4 (10 in Z)

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz
unbelastet

500

460 (1400 in Z)

2230

1200 (1100 in Z)

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz,
belastet, 120 g

370

340 (1060 in Z)

 –

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz,
belastet, 200 g

340

295 (650 in Z)

1550

530 (635 in Z)

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit
in Stellrichtung

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

N

max.

Antriebs-
eigenschaften

Piezokeramik

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Elektrische
Kapazität

6

6 (2,4 in Z)

6,2

6,2 (3,3 in Z)

µF

±20 %

Dynamischer
Stromkoeffizient

7,5

7,5 (30 in Z)

25

25 (41 in Z)

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und
Umgebung

 

 

 

 

Betriebs-
temperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

0,58

0,675

0,58

0,675

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- /
Spannungs-
anschluss

D-Sub Spezial
(CD-Version);

LEMO
(CL-Version)

D-Sub Spezial
(CD-Version);

LEMO
(CL-Version)

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Versteller typ. bis 0,1 % betragen.

Zeichnungen / Bilder

PI P-733.3 Drawing PI P-733.2 Drawing PI P-733.xDD Drawing

Bestellinformation

Mit Direktantrieb

P-733.2DDHochdynamisches, hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 30 µm × 30 µm, Direktantrieb, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-733.3DDHochdynamisches, präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 30 µm × 30 µm × 10 µm, Direktantrieb, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

 

Mit D-Sub-Stecker

P-733.2CDHochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-733.3CDPräzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 10 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

 

Mit LEMO-Stecker

P-733.2CLHochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

Mögliches Zubehör

P-733.AP1Adapterplatte zur Montage von P-733-Piezotischen auf M-545-Kreuztische

Mit LEMO-Stecker

P-733.3CLPräzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 10 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

 

Vakuumversionen

P-733.2VLHochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

P-733.2VDHochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

P-733.2UDHochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Sonderausführungen auf Anfrage.

 

 

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ103D
P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
PDF 863 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-733.2 • P-733.3
XY(Z)-Piezonanopositionierer hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur
PDF 886 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Übersicht Mikroskopiezubehör
PI Mikroskopie-Probenhalter und Adapter für Mikroskopietische
PDF 38 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-733 STEP
ZIP 1.9 M