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P-734 XY-Piezoscanner

Hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur

PI P-734.2CL
    • Ablaufebenheit 5 nm, ideal für Oberflächenanalyse und Scanning-Mikroskopie
    • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
    • Stellweg 100 µm × 100 µm
    • Freie Apertur 56 mm × 56 mm
    • Auflösung <0,4 nm durch kapazitive Positionssensoren
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

P-734.2CL

P-734.2CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

110 µm × 110 µm

110 µm × 110 µm

min. (+20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100 µm × 100 µm

100 µm × 100 µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,3

0,3

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<2,5

<2,5

nm

typ.

Neigen

<3

<3

µrad

typ.

Gieren

<10

<10

µrad

typ.

Ebenheit

typ. <5
max. 10

typ. <5
max. 10

nm

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

3

3

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

500

500

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, 200 g

350

350

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, 500 g

250

250

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

300 / 100

300 / 100

N

max.

Belastbarkeit

20

20

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6,2

6,2

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,8

7,8

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse (mit Kabeln)

1,04

1,04

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

2 × LEMO

D-Sub-Spezial

Spannungsanschluss

4 × LEMO

D-Sub-Spezial

Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 10 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 7,8 mA Strom.

Empfohlene Controller / Verstärker

P-734.2CL: Modulares System E-500 mit Verstärkermodul E-503 (mehrkanalig) oder E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und E-509 Regler
E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät
E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular
E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Zeichnungen / Bilder

PI P-734 Drawing PI P-734 Diagramm

Bestellinformation

P-734.2CDHochpräzises XY-Nanopositioniersystem mit sehr hoher Ablaufgenauigkeit, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

P-734.2CLHochpräzises XY-Nanopositioniersystem mit sehr hoher Ablaufgenauigkeit, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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Verwandte Produkte

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ103D
P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
PDF 863 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-734
PDF 804 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-734 STEP
ZIP 1.1 M