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S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber

PI S-303
    • Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
    • Geregelte Version mit kapazitivem Sensor für Sub-Nanometer-Genauigkeit und Stabilität
    • Linearstellweg bis 3 µm
    • Geringe Abmessungen Ø 30 mm × 10 mm
    • Ungeregelte Versionen mit Apertur
    • Invar-Option

Spezifikationen

S-303.CDx

S-303.0Lx

Einheit

Toleranz

Aktive Achse

Z

Z

Stellweg, ungeregelt, bei -20 bis 120 V

3

3

µm

±20 %

Stellweg, geregelt

2

µm

Integrierter Positionssensor

Kapazitiv

Auflösung geregelt / ungeregelt*

0,03 / 0,03

0,03 / –

nm

Linearitätsabweichung, geregelt**

1,0

%

typ.

Wiederholbarkeit

0,7

nm

typ.

Steifigkeit

N/µm

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

0,5

0,5

N

max.

Elektrische Kapazität

0,9

0,9

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK)***

50

50

µA/(Hz × µm)

Resonanzfrequenz, unbelastet

25

25

kHz

±20 %

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Spannungsanschluss

D

VL

Sensoranschluss

D

Masse

100

30

g

±5 %

Gehäusematerial

Al (optional Invar)

Al (optional Invar)

Empfohlene Verstärker / Controller

E-665.CR
E-610.C0
E-661.CP
E-625.CR
E-753
E-750

E-663
E-610.00
E-500 / E-501
E-503
Optional: E-515 / E-516

* Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker bzw. E-710 Controller.
** Mit Digitalcontroller; typische Linearität mit Analogcontroller ca. 1 nm.
*** Dynamischer Stromkoeffizient in μA pro Hertz und μm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 1 μm und 10 Hz erfordert ungefähr 0,5 mA Strom.

Zeichnungen / Bilder

PI S-303.0Lx Drawing PI S-303.CDx Drawing PI S-303 Diagramm

Bestellinformation

S-303.0LPiezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor

S-303.CDPiezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor

S-303.0LiPiezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor, Invar

S-303.CDiPiezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor, Invar

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Controller / Treiber / Verstärker

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Fachartikel und Links

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Piezo-Phasenschieber hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber
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