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S-310 – S-316 Piezo Hub- und Kippscanner

Hochdynamisches System mit Apertur

PI S-310
    • Freier Durchgang 10 mm
    • Dreibein-Piezoantrieb
    • Optischer Ablenkwinkel bis 2,4 mrad
    • Linearstellwege bis 12 µm (Phasenschieber)
    • Sub-ms-Ansprechzeit
    • Sub-µrad Auflösung
    • Positionsgeregelte Versionen für erhöhte Präzision
    • Für Optiken, Spiegel oder andere Komponenten
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik

Spezifikationen

S-310.10

S-314.10

S-311.10

S-315.10

S-316.10

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z

Z, θX, θY

Z, θX, θY

Z, θX, θY

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

Stellweg in Z bei 0 bis 100 V, ungeregelt

6 / –

12 / –

6 / –

12 / –

12 / 12

µm

min. (+20 % / -0 %)

Kippwinkel bei 0 bis 100 V, ungeregelt

600

1200

1200

µrad

min. (+20 % / -0 %)

Stellweg in Z, geregelt

12

µm

Kippwinkel, geregelt

1200

µrad

Auflösung in Z, ungeregelt

0,1

0,2

0,1

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, ungeregelt

0,02

0,05

0,05

µrad

typ.

Auflösung in Z, geregelt

0,4

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, geregelt

0,1

µrad

typ.

Linearitätsabweichung

0,2

%

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Z

20

10

20

10

10

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet in Z

9,5

5,5

9,5

5,5

5,5

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet in Z
(15 mm × 4 mm Glasspiegel)

6,5

4,4

6,5

4,1

4,1

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet in Z
(20 mm × 4 mm Glasspiegel)

6,1

4,2

6,1

3,4

3,4

kHz

±20 %

Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche

5

5

5

mm

±1 mm

Trägheitsmoment der Plattform

150

150

150

g × mm²

±20 %

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®
P-882

PICMA®
P-882

PICMA®
P-882

PICMA®
P-882

PICMA®
P-882

Elektrische Kapazität

0,39

0,93

0,39

0,93

0,93

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK)

8

10

8

10

10

µA / (Hz × mrad)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Masse

0.053

0.055

0.045

0.055

0.055

kg

±5 %

Kabellänge

2

2

2

2

2

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Die Auflösung von PI-Piezoscannern ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Mechanischer Winkel, die optische Strahlablenkung ist doppelt so groß. Für maximale Kippwinkel müssen alle drei Piezotranslatoren mit 50 V vorgespannt sein. Durch den Parallelkinematik-Aufbau sind der lineare Stellbereich und die Kippwinkel voneinander abhängig. Die angegebenen Werte sind Maxima für reine Linear- bzw. Kippbewegungen (Gleichungen).

Empfohlene Controller / Verstärker
Einkanalig (1 pro Achse): E-610 Controller / Verstärker, E-625 Controller Tischgerät mit Regler
E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle
E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler (optional), E-516 Interfacemodul (optional)

Zeichnungen / Bilder

PI S-310 Drawing PI S-315 Drawing PI S-316 Drawing

Bestellinformation

S-310.10Piezoaktor, freie Apertur, 6 µm, LEMO-Stecker

S-311.103-Achsen-Piezokippsystem, freie Apertur, 600 µrad, 6 µm, LEMO-Stecker

S-314.10Piezoaktor, freie Apertur, 12 µm, LEMO-Stecker

S-315.103-Achsen-Piezokippsystem, freie Apertur, 1,2 mrad, 12 µm, LEMO-Stecker

S-316.103-Achsen-Piezokippsystem, freie Apertur, 1,2 mrad, 12 µm, DMS-Sensoren, LEMO-Stecker

S-316.10D3-Achsen-Piezokippsystem, freie Apertur, 1,2 mrad, 12 µm, DMS-Sensoren, D-Sub-Stecker

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Zubehör

Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png User Manual PZ96E
S-310, S-311, S-314, S-315, S-316 Piezo Z/Tip/Tilt Scanner
PDF 248 K 1.1.0 EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt S-310 – S-316
Piezo Hub- und Kippscanner hochdynamisches System mit Apertur
PDF 793 K
fileadmin/images/filelist/zip.png S-316 STEP
ZIP 25 K