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S-325 Piezo-Hub- und Kipp-Plattform

Hochdynamisches Dreiachs-System für Spiegel und Optiken

PI S-325
    • Optischer Ablenkwinkel bis 10 mrad
    • Auflösung bis 50 nrad
    • Linearstellwege bis 30 µm (für Laufzeitanpassung)
    • Kompaktes Dreibein-Design: Parallelkinematik mit einer gemeinsamen Plattform erhält die Polarisationsrichtung
    • Sub-ms-Ansprechzeit
    • Positionsgeregelte Versionen für erhöhte Präzision
    • Für Optiken bis Ø 25 mm (1")
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik

Spezifikationen

S-325.30L

S-325.3SL

S-325.3SD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z, θX, θY

Z, θX, θY

Z, θX, θY

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

0

DMS

DMS

Stellweg in Z bei 0 bis 100 V, ungeregelt

30

30

30

µm

min. (20 % / -0 %)

Kippwinkel bei 0 bis 100 V, ungeregelt

5

5

5

mrad

min. (20 % / -0 %)

Stellweg in Z, geregelt

30

30

µm

Kippwinkel θX, θY, geregelt

4

4

mrad

Auflösung in Z, ungeregelt

0,5

0,5

0,5

nm

typ.

Auflösung θX, θY, ungeregelt

0,05

0,05

0,05

µrad

typ.

Auflösung in Z, geregelt

0,6

0,6

nm

typ.

Auflösung θX, θY, geregelt

0,1

0,1

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Resonanzfrequenz unbelastet in Z

2

2

2

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in Z
(25 mm × 8 mm Glasspiegel)

1

1

1

kHz

±20 %

Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche

6

6

6

mm

±0,5 mm

Trägheitsmoment der Plattform

515

515

515

g × mm²

±20 %

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Elektrische Kapazität

9,3

9,3

9,3

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

39

39

39

µA / (Hz × mrad)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material Gehäuse

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

0,065

0,065

0,065

kg

±5 %

Kabellänge

2

2

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

D-Sub

Für maximale Kippwinkel müssen alle drei Piezotranslatoren mit 50 V vorgespannt sein. Durch den Parallelkinematik-Aufbau sind der lineare Stellbereich und die Kippwinkel voneinander abhängig. Die angegebenen Werte sind Maxima für reine Linear- bzw. Kippbewegungen (Gleichungen).

Empfohlene Controller / Verstärker

Versionen mit LEMO Stecker: Modulares Piezocontroller-System E-500 mit Verstärkermodul E-503.00 (dreikanalig) oder 3 x E-505.00 (hochdynamische Anwendungen) und E-509 Regler (optional)
Einkanalig (1 pro Achse): E-610 OEM Controller / Verstärker, E-625 Controller Tischgerät
Versionen mit D-Sub-Stecker: E-616 Controller für Kippspiegelsysteme, unterstützt beide Kippachsen, nicht aber die Z-Bewegung

Zeichnungen / Bilder

PI S-325 Drawing PI S-325 Drawing

Bestellinformation

S-325.3SDHochdynamisches 3-Achsen-Piezokippsystem, 5 mrad, 30 µm, DMS-Sensoren, D-Sub-Stecker

S-325.3SLHochdynamisches 3-Achsen-Piezokippsystem, 5 mrad, 30 µm, DMS-Sensoren, LEMO-Stecker

S-325.30LHochdynamisches 3-Achsen-Piezokippsystem, 5 mrad, 30 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png User Manual PZ148E
S-325 Piezo Z/Tip/Tilt Platform
PDF 305 K 1.0.0 EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt S-325
Piezo-Hub- und Kipp-Plattform hochdynamisches Dreiachs-System für Spiegel und Optiken
PDF 797 K
fileadmin/images/filelist/zip.png S-325 STEP
ZIP 232 K