- Produkte - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Lineartisch-Serie N-565 mit Piezomotor

Hochpräzise auf Stellwegen bis 52 mm              

PI setzt in der Lineartisch-Serie N-565 piezoelektrische Schreitantriebe ein. Das Antriebsprinzip ermöglicht eine Wiederholgenauigkeit im Bereich weniger Nanometer, hohe Führungsgenauigkeit und hohe Kraft in einer kompakten Einheit. Damit erfüllen die Lineartische wichtige Anforderungen an die Positionierung von beispielsweise Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten in der Mikroskopie, in der Halbleiterindustrie, bei Laseraufbauten oder bei Anwendungen im Vakuum.

Kompakt und nanometergenau

Die Versteller sind 65 mm breit und nur 20 mm hoch und arbeiten mit Stellwegen von 13, 26 oder 52 mm. Die Länge variiert in Abhängigkeit von den Stellwegen und beträgt 80, 110 oder 160 mm. Als Wegmesssystem für die Positionsregelung setzt PI einen selbst entwickelten optischen Linearencoder ein, der auf einem integrierten Mach-Zehnder Interferometer basiert. Dieses Messprinzip ermöglicht eine Auflösung von 0,5 nm und eine kleinste Schrittweite von 2 nm. Der piezoelektrische Antrieb ist selbsthemmend; wird die Zielposition erreicht oder das System ausgeschaltet, verharrt die Positioniereinheit stromlos stabil und zeigt keine Wärmeentwicklung. Die Haltekraftkraft des Positioniertischs beträgt 10 N, die maximale Geschwindigkeit liegt bei 10 mm/s. Die hohe Führungsgenauigkeit wird durch Kreuzrollenlager mit Zwangsführung erzielt.

Darauf abgestimmt: Vernetzbarer Controller und Software

Mit dem kompakten Controller E-861 können die Lineartische einfach und präzise betrieben werden. Er unterstützt die Bewegungsarten des Piezoschreitantriebs und ist auf die Anforderungen der Mechanik abgestimmt. Aufgrund der Vernetzbarkeit lassen sich bis zu 16 Controller gleichzeitig über eine Computerschnittstelle ansteuern. Alle Parameter können per Software eingestellt und überprüft werden. Die Inbetriebnahme und Systemkonfiguration erfolgt über das im Lieferumfang enthaltene Programm PIMikroMove®, die Anbindung an die kundenseitige Software ist über NI LabVIEW Treiber und DLLs möglich.

Datenblatt: N-565 Linearpositionierer mit höchster Präzision

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Downloads

zip

Pressemeldung - N-565

zip - 2 MB