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Planarscanner mit Luftlager für hohe Präzision und Geschwindigkeit

  Das XY-Positioniersystem A-322 von Physik Instrumente (PI) mit reibungsfreier Luftlagerführung erreicht eine Auflösung von bis zu 1 nm und Geschwindigkeiten von 1000 mm/s.                      

Damit eignet sich der Planarscanner beispielsweise für den Einsatz in Inspektionssystemen, die eine hohe Präzision und Durchsatzrate erfordern und unter Reinraumbedingen arbeiten.

Die Ankopplung der Traverse zur unteren Achse über Festkörper-gelenke ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Rastmoment oder Anzugskräfte.

Außerdem ist der PIglide Planarscanner mit drei hochgenauen Linearencodern ausgestattet: Einer für die untere und zwei für die obere Achse. Wahlweise stehen hierfür inkrementelle oder Absolutencoder zur Verfügung.

Der A-322 wird mit Digitalcontrollern führender Hersteller betrieben. Sie bieten beispielsweise fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung.

Datenblatt: A-322 PIglideTM HS Planarscanner mit Luftlager

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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Pressemeldung - A-322

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